晶片供给和回收部分
(1)片盒载物台和片盒是为了从中取出和回收晶片的机构，设计成4个片盒位置，还设计有专门回收测定厚度失败晶片的片盒载物台以及片盒。
(2)机械手臂从片盒里吸出晶片放到加工和测定位置上，又把完成*后工序之后的晶片在回收片盒上，从取出晶片和回收晶片在片盒里位置是相对应不变的。
(3)片盒里没有晶片或者装满加工后的晶片就会自动报警，提示操作工换片盒。
(4)设有判断有无片盒即有无品片的传感器。
(5)目录操作里实现各个机器动作。
(4)设有判断有无片盒即有无品片的传感器。
(5)目录操作里实现各个机器动作。
